【PLC】低成本的晶圆位置检测方案
在半导体制造过程中，晶圆位置的精确检测是确保产品质量和生产效率的关键环节。而传统的解决方案往往存在这几种课题：
■外购专门的晶圆校准器（Aligner）成本较高；
■高精度的校准控制难度大；
■不同种类的晶圆切换困难。
?相比于Aligner 成本更低，性价比高；
提供丰富的高精度校准运算套装，精度优于常规Aligner，XY轴重复误差小于0.1mm；
支持4-12寸的各类Wafer，不透明/半透明/透明/平边/双平边/Notch等多种选择。
我们的晶圆位置检测解决方案已经成功应用于多家半导体企业，并获得了广泛的好评。
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