【新品速递】UNIPOL-1503精密多功能抛光机
产品简介
本机设置了?381mm的研磨抛光盘和三个加工工位以及一个蓝牙机械手，两套滴料系统，非常适用于晶圆样品（≤?100mm）的减薄抛光，蓝牙功能可对材料厚度的数值进行检测，达到目的数值自动停止，控制系统可自由设定和储存工艺参数，实现自动化研磨抛光。
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