可获得优异的背散射和形貌图像还进行高分辨率成像，可以扩展至矿物的元素分析。整个薄片的背散射图像和能谱元素面扫描、自动矿物分析，寻找特定矿物并获得主要矿物的含量，成分及分布，包裹体等信息。