金刚石和硼化物微型精密镀膜工具在使用过程中的热稳定性和抗氧化性能是影响工具使用寿命及切削质量的重要因素，在加工过程中，有必要探明高温条件下镀膜表面的元素层深分布，同时揭示晶体结构、相结构的演化规律，为提高镀膜工具热稳定性、抗氧化性能及优化加工参数提供理论指导。另外，金刚石微型精密镀膜工具在制备和使用过程中，如何有效抑制钴元素的扩散是提高金刚石涂层膜基结合强度和提升镀膜工具使用寿命的关键。为了深入研究钴元素的界面扩散机制，探明钴元素的层深分布也至关重要。为了保障上述关键研究的顺利开展，亟需通过电子探针显微分析仪对超硬镀膜表界面显微结构和微区元素分布进行系统表征与分析。