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中国计量科学研究院2024年5至10月政府采购意向
项目名称: 硅片表面缺陷测量系统采购项目 品目 A02100302-光学计量仪器
公告时间: 20240304 预算金额: 190.000000万元(人民币)
采购单位 中国计量科学研究院 采购时间 202405
采购需求:
拟采购硅片表面缺陷测量系统,测量范围:(90´90)um;划痕测量重复性:≤10nm。