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中国科学院上海技术物理研究所2024年7至12月政府采购意向
中国科学院上海技术物理研究所2024年7至12月政府采购意向
项目名称:
芯片表面形貌全自动光学检查设备
品目
A02100499其他分析仪器
公告时间:
20240705
预算金额:
170.000000万元(人民币)
采购单位
中国科学院上海技术物理研究所
采购时间
202408
采购需求：
芯片尺寸:2、4、6英寸晶圆以及切割后的芯片;最小检测精度:优于10μm;缺陷Review倍率:5X/10X/20X。
本文来源:
/ycz/ydetail_202448126fe.html
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