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北京理工大学2024年8至9月政府采购意向
项目名称: 晶圆级薄膜沉积系统 品目 A02339900其他电工、电子生产设备
公告时间: 20240704 预算金额: 300.000000万元(人民币)
采购单位 北京理工大学 采购时间 202408
采购需求:
样品最高加热温度高于800度,样品台射频偏压清洗,含两个射频源数量。