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医疗器械网 招采大厅 北京理工大学2024年8至9月政府采购意向
北京理工大学2024年8至9月政府采购意向
项目名称: 原子层可控生长系统 品目 A02339900其他电工、电子生产设备
公告时间: 20240704 预算金额: 200.000000万元(人民币)
采购单位 北京理工大学 采购时间 202408
采购需求：
采用热原子层沉积（T-ALD）方法或者等离子体增强原子层沉积（PEALD）方法制备高度致密的、无针孔和无颗粒的、纳米尺度的氧化物、氮化物和金属薄膜。

本文来源: /ycz/ydetail_202448076ac.html

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