该设备用于为三星六链路仿真验证系统进行光学坐标测量； 技术要求：1、长度测量误差：0.7+L/350μm 2、扫描探测误差：1.1μm/40s 3、单探针形状误差：0.8μm 4、多探针形状误差：2.1μm 5、分辨率：0.005μm 6、量程：700mm×700mm×500mm 交付时间要求：三个月内； 交付地点要求:电子与通信工程学院负一楼实验室； 售后服务要求（含培训）：供应商需提供完整的设备操作手册，在培训地点（由双方商定）对购买方相关人员进行培训，2年免费保修。