原位电镜测量系统，数量：1套；技术要求如下：（1）可适配JEOL型号电镜，兼容指定级靴，可使用独立控制器实现β方向倾转。（2）氮化硅膜载网厚度：30 nm，或者无膜孔洞；（3）样品漂移：优于0.7 nm/min； （4）兼容四电极加热芯片或电学芯片；（5）最高温度800摄氏度。（6）加热功率最大30W.（7）控温稳定性优于±0.1摄氏度。（8）最大升温速率~100摄氏度/秒。（9）包含一个电流电压测试单元；（10）电压输出最大±200 V，最小±100 nV；（11）电流测量最大±1.5 A，最小100 fA；（12）恒压或者恒流模式；（13）自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。（14）粗调范围：XY方向2.5mm，Z方向1.5mm（15）细调范围：XY方向15um，Z方向1.5um；（16）细调分辨率：XY方向0.4nm，Z方向0.04nm。交付时间要求：2024年11月30日前，售后服务要求：整机免费保修2年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。