OLED、QLED材料与器件作为新型光电功能材料的重要组成部分，在显微结构、物理性能方面提出了很多新的检测需求，器件的研发需要极小尺度的微纳加工和微区缺陷检测，在结构表征过程中需要使用更低能量的电子束及离子束。