包括：1.气温控制系统 (1台），应具有高精度气温控制组件及系统，能精确测量和快速响应调节气体温度，能实现对温度的仿真模拟和自动化控制研究，以满足后期高端集成电路装备所需的气温条件，致力超稳定气温控制技术的发展和创新，提高研究效率。2.水温控制系统 (1台），应提供稳定精密的水温控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对光刻机等超精密仪器微环境控制核心技术的研究，为超稳定水温控制技术及应用奠定基础，提高研究效率。3.湿度控制系统 (1台），应提供稳定精密的空气湿度控制组件及系统，以便后期在此基础上开展对相关算法、模型以及光刻机等超精密仪器微环境技术的研究，为超稳定空气湿度控制及应用奠定基础，提高研究效率。合同签订之日起90个工作日内完成设备的安装调试及验收。货物到达后，由双方共同参与对货物的质量、规格、数量、软件安装和运行状况验收；供方需承担运输、安装过程中质量、安全等问题，同时需提供操作培训和质保期内的免费维修服务。