洁净室节能的九大技巧
洁净室里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气通风和空调工艺冷却压缩空气以及一些其他的设施
HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用GX率的设计和GX率设备需要很大的前期投入那种小处节约大处浪费的所谓捷径和削减成本，会造成工厂的运行性能降低和能耗增加
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