中国电镜产业链系列走访第1站聚束科技：继续打磨高通量扫描电镜保障盈利竞争力-医疗器械网

中国电镜产业链系列走访第1站聚束科技：继续打磨高通量扫描电镜保障盈利竞争力

来源：聚束科技（北京）有限公司分类：操作使用 2024-02-27 16:45:04 97阅读次数

秉承“国产科学仪器腾飞行动”宗旨，仪器信息网于2018年启动“国产科学仪器腾飞行动”之“创新100”项目，通过筛选一批具备自主创新能力的中小仪器厂商，在企业发展的关键时期“帮一把”。五年以来，天时地利人和至，中国电镜产业迎来发展窗口期，国内电镜产业链企业们也纷纷抓住历史机遇，实现生机蓬勃的发展之势。2023 年迎来国产电镜的“全新时代”。

此背景下，“创新 100”项目组在2023年底走进13家中国电镜产业链代表性企业，邀请电镜专家联合走访，探寻中国电镜产业发展进展，为发展新阶段赋能，也为 2024 年即将在苏州举办的“第三届中国电镜产业化发展论坛”的内容筹备作前期调研。

交流现场走访第1站，由北京大学分析测试中心电镜平台负责人鞠晶老师，仪器信息网材料物性组执行主编杨厉哲、营销服务中心经理韩永风、郭航等组成的走访项目组走进(北京)有限公司（以下简称“”）北京总部，总经理李帅、销售总监朱悦等接待了走访一行人员。

——企业发展进展

（北京）有限公司成立于2015年，总部位于北京市经济技术开发区，创始和核心技术团队曾在ASML-HMI从事半导体晶圆检测SEM开发，有十余年开发经验。公司是国内集研发、制造、销售及维护为一体的电子束类科学仪器综合服务商。公司自成立以来一直耕耘中国创造，拥有条件非常完善的电子光学研发生产平台，拥有诸多电镜自主知识产权（目前拥有国内外专利70余项，包括国外专利20余项），是国内掌握电镜领域核心科技的高科技公司。

2015年，将半导体电镜技术引入科学仪器行业，研发出具有自主知识产权的SORRILTM镜筒。2017年，成功研发出具备多倍视频级高速SEM成像能力的单束高通量扫描电镜NavigatorSEM-100。2021年，推出全新机型NavigatorSEM-100plus。聚焦单束高通量扫描电镜，通过对成像技术、运动平台、电路控制及智能算法的系统化创新设计，实现了高通量成像，成像速度可达到传统电镜的数十倍以上。

高通量（场发射）扫描电子显微镜NavigatorSEM-100

2018年，仪器信息网“创新100”项目第1站曾走访了，五年来，取得了稳定的发展。

2019年，在BCEIA2019展会上公开发售首款以“高通量”定名的扫描电镜类别，并在面世以来获得业界广泛认可。相关产品先后荣获仪器信息网颁发2018年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2019年度“中国分析测试协会科学技术金奖（BCEIA）”、 2020年入围国际仪器行业“R&D 100”大奖评选、2021年度“CISILE 2021自主创新奖”、2021年度中国科学仪器行业“优秀新产品”奖、2021年度“朱良漪分析仪器创新奖”等。

——产品技术与市场应用

当前，商业化高通量扫描电镜主要通过两种技术路径，一是提高单束电子束成像速度，二是增加电子束数量。聚焦于第一路径，在相对大电流下，实现单束SE+BSE成像速度100M像素/秒(10ns 每像素驻留时间)，双通道SE和BSE成像速度最高上限可达400 M像素/秒。相比多束技术路线，单束高通量具有普适性更强（两种成像模式）、性价比高、运行对样品量要求适中等优势，因此获得相对更广的应用场景。

企业参观

单束高通量场发射扫描电镜采用直接电子探测器的技术方案，成功克服了传统SEM技术在速度、精度和样品损伤等方面的局限性，颠覆性地将扫描电镜从传统意义上的纳米“照相机”提升为纳米“摄像机”。同时操作简单，全自动一键换样，7*24小时无人值守运行，全面提升科研效率。

目前，产品技术已应用在生命科学、材料研究、半导体工业、地质资源等领域。尤其在神经生物学3D重构、材料大面积表面分析、半导体反向工程、纳米技术分析等应用领域有显著优势。如在芯片分析应用中具有拍摄区域全、刻线更细的优势；在生物和病理分析应用中具有连续切片制样方式、一次性载入SEM、样品可持续保存、随时重复拍摄等优势；在地质油气应用则利用先进显微镜技术与地质学、岩石物理学和石油工程相结合，实现跨尺度、高通量研究页岩气/油储层岩石的孔隙尺度微观结构；在高温合金材料中应用可全面统计分析工程材料样品的均匀性，实现高温合金样品宏观全貌与微观细节间的信息关联、统计不同析出相尺寸和位置分布图等。

——国产电镜发展观点

短期聚焦高通量场发射扫描电镜，保证盈利能力——李帅表示，有常规扫描电镜产线计划，但短期将主要聚焦高通量场发射扫描电镜技术。当前，国产电镜呈“内卷”局面，尤其在常规扫描电镜领域，虽然整体在数量上取得一些成绩，但面临产业链尚未成熟、进口品牌的压力，产品利润较难保障。结合这样的现状和的体量现状，公司将目前主要重点放在专注、打磨好已有的高通量场发射扫描电镜技术上，尤其投入在更能解决当下用户痛点的操作软件和交互体验上，加强在此领域的先发优势，进而保障企业的市场盈利能力。

我国电镜供应链有待进一步发展——目前，国产电镜利润难保，产品成本相比进口品牌降不下来，主要原因就是供应链不健全。虽然近年来，随着国产电镜的活跃发展，一些核心部件技术得到了显著发展，但针对场发射扫描电镜等稍微高端一些的产品，真空泵等核心部件依旧主要依赖国外供应。作为市场需求数量级较小的科学仪器，很难通过走量摊薄成本，如此，我国电镜产业竞争力的提升还有待供应链的快速发展。