CMP浆料的快速稳定性研究
化学机械抛光，是半导体制造过程中最重要的环节之一。CMP抛光浆料（Chemical Mechanical Slurry），又称CMP浆料、抛光液、研磨液、研磨料，是CMP工艺的3大关键要素之一，其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。
按照磨粒的不同，CMP浆料主要分为二氧化硅浆料、氧化铈浆料、氧化铝浆料和纳米金刚石浆料等几大类。CMP浆料一般由超细固体粒子研磨剂、表面活性剂、稳定剂、氧化剂等组成，其中固体粒子提供研磨作用。CMP浆料需要良好的稳定性，放置长时间不分出清水，不淀底。由于芯片抛光浆料具有很高的技术要求，配方处于完全保密状态，我国只有少数企业掌握部分低端技术，且一直存在稳定性无法保证的难题，所以在芯片等高端领域CMP浆料则一直依赖进口。
本文利用LUM加速型稳定性/分散体分析仪对两款不同配方的金刚石CMP浆料进行快速稳定性研究。
样品：编号DiamondCMP 1，Diamond CMP 2
仪器和测试条件：
测试结果：
1-图谱描述：
1-TransmissionProfile of Diamond CMP 1
上图1是CMP浆料1的透光率图谱。这是一个典型的多分散沉降的过程，即颗粒按照不同大小的速度分别沉降。
2-Transmission Profile of Diamond CMP 2
上图2是CMP浆料2的透光率图谱。这是一个典型的区域沉降的过程，即颗粒按照整体下沉的状态沉降。这种情况往往是由于颗粒聚集和相互作用，且形成一个封闭的网状结构。
结论：不同配方的CMP浆料，颗粒的相互作用以及沉降过程可能完全不一样。
2-沉降追踪：
3-界面位置随时间变化曲线
上图3是两组CMP浆料的界面沉降位置随时间的变化。可以发现CMP浆料1很快就沉降完，界面位置由样品管顶部106mm刻度左右位置沉降到126mm刻度左右位置;而CMP浆料2到实验结束，界面沉降到120mm刻度左右位置。
结论：CMP浆料2沉降更慢，稳定性更好。重复样曲线叠加良好，重复性结果佳。
总结：利用LUM加速性稳定性/分散体分析仪，在极短的时间内，可对CMP浆料的沉降行为进行定性和定量表征。在相同条件下分析多达8-12个样品。
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- CMP浆料的快速稳定性研究
- 利用LUM稳定性分析仪进行快速稳定性分析，可用以快速筛选浆料配方，优化工艺。
-
- 探索三维打印材料热稳定性与成分分析——TG-GC/MS联用技术的应用
- 探索三维打印材料热稳定性与成分分析——TG-GC/MS联用技术的应用
-
- 前沿应用|低场核磁共振技术在食品饮料稳定性评价中的应用
- 增稠剂是一种用于增加食品或饮料的黏度和浓稠度的物质。在果汁、酸奶或谷物饮料中，增稠剂的作用是改善产品的稳定性
-
- 化妆品的氧化稳定性测定
- 化妆品的氧化稳定性测定
-
- 应用故事 | 商用电池热稳定性测试及图谱分峰
- 应用故事：商用电池热稳定性测试及图谱分峰
-
- 热失重分析仪：探索材料热稳定性的利器
- 热失重分析仪，又称为热重分析仪，是一种用于研究物质在加热过程中质量变化的仪器。这种仪器广泛应用于材料科学、化
-
- 热失重分析仪：探索材料热稳定性的利器
- 热失重分析仪，又称为热重分析仪，是一种用于研究物质在加热过程中质量变化的仪器。这种仪器广泛应用于材料科学、化
-
- 网络研讨会 | 乳液体系的微纳米尺度稳定性及流变性研究
- \x26amp;nbsp;引言\x26amp;nbsp;\x26amp;nbsp;乳液是由两相组成的热力学不稳定体系，广泛应用于食品、药品、化工、医药
-
- 网络研讨会 | 乳液体系的微纳米尺度稳定性及流变性研究
- \x26amp;nbsp;引言\x26amp;nbsp;\x26amp;nbsp;乳液是由两相组成的热力学不稳定体系，广泛应用于食品、药品、化工、医药
-
- 用户速递 | 调控二维磁性异质结中的交换偏置效应对于高性能与高稳定性存储材料应用的意义
- 应用方向：磁光克尔（MOKE）光谱系统；激光冲击过程；交换偏置效应；铁磁/反铁磁材料；磁数据存储自旋器件
①本文由医疗器械网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表医疗器械网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：医疗器械网"的所有作品，版权均属于医疗器械网，转载时须经本网同意，并请注明医疗器械网(www.120med.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
最新话题
最新文章
- 长光辰英完成数千万A轮融资，建立国际水平的生命科学光学工具平台
- 高考必胜 丨 且踏浪起航，乘梦越山海
- 应用 | 影响喷墨打印质量的重要参数 - 润湿性
- 基理动态｜贺“2024年大型仪器设备开放共享工作创新培训班”及“2024年河北省高等学校实验室安全培训会”成功举办！
- 前沿应用|低场核磁共振技术在油泥含油率检测中的应用
- 拼手速 | “破卷出新”FBIF2024食品创新展，免费赠票！
- 收藏！超全的水凝胶3D细胞培养全流程干货，一看就懂~
- Need | “你的”科研产品需求，我们来满足！（内含福利）
- 探微知著：微塑料多维检测技术的发展与应用
- 《REMOTE SENS ENVIRON》--基于S185高光谱数据消除冠层光谱土壤背景影响实现叶片叶绿素含量监测
作者榜
北京安洲科技有限公司
参与评论
登录后参与评论