内外皆精密 | 珀金埃尔默 FT-IR自动分析系统助力精确检测硅晶圆中杂质
半导体产业的蓬勃发展离不开硅晶圆这一基础材料的质量控制。今日分享一项来自的革新成果——基于FT-IR（傅立叶变换红外光谱）技术的全自动分析系统，专门用于高效、精准地测量硅晶圆中的杂质含量。
随着消费电子产品、汽车和太阳能发电领域对硅器件的需求激增，硅晶圆的生产和纯度把控显得至关重要。尤其是Float Zone（FZ）和Czochralski（CZ）两种主流生产工艺中，尽管FZ工艺能产出更高纯度的硅晶圆，但CZ工艺因其经济高效及优良的热应力特性被广泛应用。不过，CZ工艺生产的晶圆含有较多碳和氧杂质，这些杂质可能影响半导体器件性能，因此，有效测定并控制杂质水平成为业界关注焦点。
的Spectrum 3 FT-IR光谱仪结合MappIR晶圆支架和自动化软件，可实现从2英寸至12英寸硅晶圆的全面、自动化分析。系统能在透射或反射模式下工作，通过连续氮气吹扫消除大气干扰，采集高分辨率光谱数据，进而确定晶圆中的碳、氧杂质浓度。
△Spectrum 3 FT-IR 和 MappIR 系统
依据国际认可的标准方法，通过比较CZ工艺晶圆与高纯度FZ参考晶圆的光谱差异，可在特定波数（如1107 cm-1 和513 cm-1 对应间隙氧，605 cm-1对应替代碳）处测得杂质吸收系数，并进一步转化为原子浓度(ppma)。
△FZ 工艺 晶圆光谱（红色）和CZ 工艺 晶圆光谱（黑色）显示光谱差异（点击查看大图）
△“CZ 工艺-FZ 工艺” 晶圆光谱的扣减光谱显示由于 CZ 工艺材料中的杂质而产生的谱带（点击查看大图）
在此基础上，还展示了如何借助AutoPRO7软件绘制整个晶圆表面的杂质分布地图，实现了对碳和氧杂质分布的精细刻画，有助于制造商优化工艺、提高产品质量。
△Auto PRO7 软件中测量位置的示意图
（点击查看大图）
SUMMARY
综上所述， FT-IR自动分析系统的引入极大地提升了硅晶圆中元素杂质的检测效率和准确性，不仅推动了半导体产业链的技术升级，也为高质量硅晶圆的大规模稳定生产奠定了坚实的基础。未来，这一创新技术将在半导体行业的持续进步中发挥重要作用。
敬请关注，获取更多关于FT-IR自动分析系统在硅晶圆杂质检测方面的专业解决方案和案例分享，共同见证科技力量如何驱动产业升级！
扫描左侧二维码
即刻获取产品样本
关注我们
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- 内外皆精密 | 珀金埃尔默 FT-IR自动分析系统助力精确检测硅晶圆中杂质
- 内外皆精密 | 珀金埃尔默 FT-IR自动分析系统助力精确检测硅晶圆中杂质
-
- 科学探索微塑料，共绘绿色未来-珀金埃尔默邀您共襄武汉全国微塑料研究会议
- 科学探索微塑料，共绘绿色未来-珀金埃尔默邀您共襄武汉全国微塑料研究会议
-
- 会议邀请 | 2024无机分析技术研讨会暨第十六届珀金埃尔默原子光谱用户会
- 会议邀请 | 2024无机分析技术研讨会暨第十六届珀金埃尔默原子光谱用户会
-
- 官宣！珀金埃尔默微官网携重磅会员好礼全新升级！
- 官宣！珀金埃尔默微官网携重磅会员好礼全新升级！
-
- 珀金埃尔默多款新品发布，为分析检测技术再添利器
- 珀金埃尔默多款新品发布，为分析检测技术再添利器
-
- 体验便捷服务，尽享丰富礼遇——全新珀金埃尔默售后小程序下单赠礼活动全面开启
- 体验便捷服务，尽享丰富礼遇——全新珀金埃尔默售后小程序下单赠礼活动全面开启
-
- 实验室运营好帮手 | 珀金埃尔默租赁服务火热依旧
- 实验室运营好帮手 | 珀金埃尔默租赁服务火热依旧
-
- 珀金埃尔默助力大规模仪器设备更新
- 珀金埃尔默助力大规模仪器设备更新
-
- 珀金埃尔默售后服务小程序正式上线啦！
- 珀金埃尔默售后服务小程序正式上线啦！
-
- 珀金埃尔默耗材真伪查询
- 珀金埃尔默耗材真伪查询
①本文由医疗器械网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表医疗器械网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：医疗器械网"的所有作品，版权均属于医疗器械网，转载时须经本网同意，并请注明医疗器械网(www.120med.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
最新话题
最新资讯
- 焕新起航，蓄势前行|第32届成都医博会火热来袭！
- 一次性使用唾液采集器：便捷高效的唾液样本收集保存运输解决方案！
- 【邀请函】第32届成都医博会来啦，2025年3月7-9日，与您相约成都世纪城国际展览中心！
- TOC清洁验证棉签擦拭棒在生物制药等行业中的重要应用！
- 一次性无菌宫颈采样拭子助力女性HPV检测便捷、安全高效采样取样！
- 一次性使用碘伏溶液皮肤消毒器：得力的术前大面积皮肤消毒工具！
- 【双节同庆】坛墨质检第六届标物节，佳节共庆， “粽”享壕礼！
- 厉害了！泰林硝酸纤维素(NC)转印膜又双叒叕获奖了！
- 泰林生物“高考”试卷已出，敬请阅卷答题，高分赢取好礼！
- 来Metro Trans，了解利勃海尔开发的符合中国标准的地铁空调系统
作者榜
成都世纪康博会展有限公司
参与评论
登录后参与评论