使用NexION 5000 ICP-MS分析高纯度硅基质中的痕量污染物
1
样品和标准溶液制备
对不同来源的多晶硅和晶圆样品进行分析。有些样品以液体形式提供，另一些则以需要消解的固体形式提供。消解方法是用1:1的HF和HNO3 (Tamapure，半等级，日本东京)混合物进行溶解，然后用超纯水稀释至浓度为1000 ppm、1500 ppm和2000 ppm Si。酸混合物的最终浓度为2%~6%不等。
采用标准加入法(MSA)，依据样品中的污染物浓度在0~1000 ppt的不同浓度下进行校准。加标物由10 ppm多元素校准标准品(PE纯，公司，美国康涅狄格州谢尔顿) 制成。
2
仪器和仪器条件
ICP-MS是最灵敏、最准确的痕量元素分析技术，NexlON 5000多重四极杆ICP-MS2将新颖的第二代三锥接口 (TCI) 与OmniRing技术3、专有等离子发生器、LumiCoil?射频线圈、具有动态带通调谐功能的通用池技术4以及多重四极杆技术整合在一起，增强了仪器的分析性能、灵敏度以及可靠性。在通用池中使用纯反应气体(NH3、O2、H2、NF3等)搭配动态带通调谐和多重四极杆技术，可以非常有效地消除光谱干扰，同时积极防止反应池中形成新的干扰。分析Si基质样品的操作参数如表1所示。
表1: NexION 5000 ICP-MS的仪器参数
3
干扰
在常规ICP-MS分析中，存在两种类型的干扰：非光谱（物理和基质效应）和光谱 (同量异位素和多原子)5。在分析消解硅时，会遇到基质干扰和光谱干扰。由于样品中总溶解固体(TDS)含量较高，与无基质匹配标准品相比，分析物信号可能会受到抑制，从而导致分析结果错误。校准标准品基质匹配或标准加入法（MSA）以及内标物是补偿非光谱类型干扰的常用方法。
分析硅基质时，多种光谱干扰会影响结果的准确性。因此，需要一种与干扰管理相结合的适当方法。表2显示了常见硅基干扰的示例。
表2：消解硅基质中可能存在的干扰
结果和讨论
如引言所述，本应用文献主要关注表2中所列的受硅物质干扰的元素。硼不受硅的干扰，但由于半导体制造商对其非常关注，将其纳入分析中。在纯硅基质中掺杂硼和元素周期表III族的一些其他元素，形成p型半导体材料同时添加P和V族的一些其他元素，得到n型材料。
采用标准加入法(MSA) 生成的多晶硅-2校准曲线如图1所示。尽管它们是使用不同的模式(MS/MS和质量转移)和反应气体获得的，但均表现出良好的线性。截距表示该特定样品中污染物的水平。
图1：采用MSA获得的2000ppm Si (P为1500ppm Si)校准曲线示例
参考文献
请扫描下方二维码下载完整应用文章
For The Better
关注我们，一起让世界变得更美好
*请长按二维码识别
全部评论(0条)
推荐阅读
-
- 使用NexION 5000 ICP-MS分析高纯度硅基质中的痕量污染物
- 使用NexION 5000 ICP-MS分析高纯度硅基质中的痕量污染物
-
- 有锂行天下 | 使用NexION 5000 ICP-MS测定锂材料中的杂质
- 有锂行天下 | 使用NexION 5000 ICP-MS测定锂材料中的杂质
-
- 使用NexION 5000 ICP-MS对超纯水中的杂质进行快速超痕量分析
- 使用NexION 5000 ICP-MS对超纯水中的杂质进行快速超痕量分析
-
- 博赛德VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究 · 全国巡回技术交流会之南京站即将拉开帷幕
- 北京博赛德科技有限公司15城 “VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究·全国巡回技术交流会”之南京站，将于4月17日在南京奥体博览中心希尔顿欢朋酒店拉开帷幕，在此诚邀各位行业专家与同仁共襄盛会，共同探索行业发展的无限可能。
-
- 博赛德VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究 · 全国巡回技术交流会——安徽站圆满结束
- 为进一步推动VOCs检测技术与ODS等新污染物检测技术的应用，2024年3月14日，北京博赛德 “VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究·全国巡回技术交流会”在安徽省合肥市顺利举行。
-
- 博赛德VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究 · 全国巡回技术交流会——湖北站圆满结束
- 为进一步推动VOCs检测技术与ODS等新污染物检测技术的应用，2024年3月14日，北京博赛德 “VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究·全国巡回技术交流会”在湖北省武汉市如期举行。
-
- 北京博赛德 · 2024年度 丨VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究 · 全国巡回技术交流会
- 北京博赛德科技有限公司始终坚守在VOCs检测分析领域，一直致力于解决用户实际问题与提供完善的整体解决方案。2024年，北京博赛德将在全国“贰拾”城举办“VOCs检测技术与ODS等新污染物检测前沿探究·全国巡回技术交流会”。
-
- 质护未来丨新污染物筛查、识别与健康效应技术研讨会
- 质护未来丨新污染物筛查、识别与健康效应技术研讨会
-
- 以科技改善环境健康丨快、准、稳-SCIEX微体积进样新污染物筛查液质方案
- 以科技改善环境健康丨快、准、稳-SCIEX微体积进样新污染物筛查液质方案
-
- 医疗机构水污染物排放标准及其检测解决方案
- 医疗机构水污染物排放标准主要包括国家和地方相关的环境保护法规和标准。根据医疗机构的不同性质和规模，还需要满足其它相关排放标准，如重金属、有机物等的限制。
①本文由医疗器械网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表医疗器械网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：医疗器械网"的所有作品，版权均属于医疗器械网，转载时须经本网同意，并请注明医疗器械网(www.120med.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
最新话题
最新资讯
- TOC清洁验证棉签擦拭棒在生物制药等行业中的重要应用！
- 一次性无菌宫颈采样拭子助力女性HPV检测便捷、安全高效采样取样！
- 一次性使用碘伏溶液皮肤消毒器：得力的术前大面积皮肤消毒工具！
- 【双节同庆】坛墨质检第六届标物节，佳节共庆， “粽”享壕礼！
- 厉害了！泰林硝酸纤维素(NC)转印膜又双叒叕获奖了！
- 泰林生物“高考”试卷已出，敬请阅卷答题，高分赢取好礼！
- 来Metro Trans，了解利勃海尔开发的符合中国标准的地铁空调系统
- 福立与纳微携手一周年暨GC系列新品发布盛典活动速递
- 参展回顾 | 瑞沃德精彩亮相2024中国生命科学大会暨中国生命科学博览会
- 瑞沃德与您相约中华医学会第二十九次皮肤性病学术年会
作者榜
梅特勒托利多科技（中国）有限公司
参与评论
登录后参与评论